橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備。由于并不與樣品接觸，對(duì)樣品沒(méi)有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種具吸引力的測(cè)量設(shè)備。

 

　　基本原理：

　　橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征反射光的特性，可分成兩個(gè)分量：P和S偏振態(tài)，P分量是指平行于入射面的線性偏振光，S分量是指垂直于入射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數(shù)r描述了在一個(gè)界面入射光線的反射。P和S偏振態(tài)分量各自的菲涅耳反射系數(shù)r是各自的反射波振幅與入射波振幅的比值。大多情況下會(huì)有多個(gè)界面，回到最初入射媒介的光經(jīng)過(guò)了多次反射和透射。總的反射系數(shù)Rp和Rs，由每個(gè)界面的菲涅耳反射系數(shù)決定。Rp和Rs定義為最終的反射波振幅與入射波振幅的比值。

 

　　設(shè)計(jì)領(lǐng)域：

　　橢圓偏振儀涉及領(lǐng)域有：半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等。

　　早期的研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作用的物理學(xué)研究以及儀器的光學(xué)研究。計(jì)算機(jī)的發(fā)展使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。硬件的自動(dòng)化和軟件的成熟大大提高了運(yùn)算的速度，成熟的軟件提供了解決問(wèn)題的新方法，因此，橢偏儀已被廣泛應(yīng)用于研究、開發(fā)和制造過(guò)程中。

 

　　橢圓偏振儀所需的組件包括：

　　1、把非偏振光轉(zhuǎn)化為線性偏振光的光學(xué)系統(tǒng)；

　　2、把線性偏振光轉(zhuǎn)化為橢圓偏振光的光學(xué)系統(tǒng)；

　　3、樣品反射；

　　4、測(cè)量反射光偏振特性的光學(xué)系統(tǒng)；

　　5、測(cè)量光強(qiáng)度的探測(cè)器；

　　6、根據(jù)假設(shè)模型計(jì)算結(jié)果的計(jì)算機(jī)。