光學膜厚儀是一種非接觸式測量儀器，一般會運用在生產廠商大量生產產品的過程，由于誤差經常會導致產品全部報廢，這時候就需要運用光學膜厚儀來介入到生產環境，避免這種情況的發生。
1、光源：寬光譜光源；
2、探測器：高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器；
3、控制箱：含電路板、控制單元、電源、光源；
4、輸出設備：軟件界面支持輸出、輸入光譜數據庫。
系統特點：
1、嵌入式在線診斷方式；
2、免費離線分析軟件；
3、精細的歷史數據功能，幫助用戶有效地存儲，重現與繪制測試結果；
4、主要為半導體、新能源企業和高校及研發中心提供各類精密進口制程及測量設備。提供全面的一對一*，技術支持，備件管理和咨詢服務。
性能特點：
1、快速測量：僅需1-2秒就可以完成一次測量；
2、測量范圍廣：可測量膜厚范圍從15nm-70um；
3、簡潔操作：常規操作，只需點擊一個按鈕就可完成操作；
4、高效穩定：適用于工業現場，穩定可靠；
5、經濟實用：能夠滿足膜厚的常規測量，成本較低。
光學膜厚儀的使用注意事項：
1、零點校準：在每次使用膜厚儀之前需要進行光學校準，因為之前的測量參數會影響該次對物體的測量，零點校準可以消除前次測量有參數的影響，能夠降低測量的結果的誤差，使測量結果更加jīng確；
2、基體厚度不宜過?。涸谑褂霉鈱W膜厚儀對物體進行測量時基體不宜過薄，否則會jí大程度的影響儀器的測量精度，造成數據結果不準確，影響測量過程的正常進行；
3、物體表面粗糙程度：對于被測物體的表面不宜太過粗糙，因為粗糙的表面容易引起光的衍射，降低了光學膜厚儀的測量精度，造成很大的誤差。所以被測物體的表面應該盡量保持光滑，以保證測量結果的jīng確性。
